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信息描述
存储方法
1.在70℃以下NF3气体对普通金属是不腐蚀的,因此钢、铜、镍、铝和不锈钢在70℃以下均可用作包装材料。用钢瓶和铝合金瓶充装,三氟化氮厂家,对气瓶每两年要检验一次。按有毒高压液化气体规定运输,国外规定可以用汽车、火车运输,不能用飞机运输。气瓶充装系数不大于0.01。
2.储存注意事项[16] 储存于阴凉、通风的有毒气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易(可)燃物、还原剂、食用化学品分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
强氧化剂。受热或与火焰、电火化、有机物等接触能燃烧。与易燃物(如苯)和可燃物(如糖、纤维素等)接触会发生剧烈反应,甚至引起燃烧。与还原剂能发生强烈反应,引起燃烧。
有害燃烧产物: 氟化氢。
灭火方法: 消防员必须穿全身防火防毒服,在上风向灭火。切断气源。喷水冷却容器,可能的话将容器从火场移至空旷处
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有害燃烧产物: 氟化氢。
灭火方法: 消防员必须穿全身防火防毒服,在上风向灭火。切断气源。喷水冷却容器,可能的话将容器从火场移至空旷处
主要用途
1.NF3是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,对硅和氮化硅的蚀刻,三氟化氮气体,采用NF3和CF4+O2的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性,而且对表面无污染。氢与NF3反应,在瞬间伴随放出大量的热,这就是NF3在高能化学激光器方面大量应用的原理。在高温下,三氟化氮,NF3与有机化合物反应常伴有性,操作时应十分谨慎。2.用作高能燃料
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